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真空泵的分类包括以下几种类型:
变容真空泵:利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气,包括往复式、旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式)。
动量传输泵(分子真空泵):依靠高速旋转的叶片或高速射流,将动量传输给气体或气体分子,使气体从泵的入口传输到出口。
压缩泵:通过一个或多个压缩级将空气粒子从被抽容器中抽出,然后排放到大气中。
冷凝和吸气泵:用于让被抽的气体粒子凝结到固体表面或以其他方式束缚到固体表面上。