SONIC超声波微量液体流量计的特点

用于

IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理

・测量1ml/min

以上的微小流量 ・通过数字信号处理

高精度测量微小流量 ・传感器部具有与流体的非接触式结构

・范围广

产品规格

微液体流量计（传感器分离型）

微LF-300S

型 μLF-300S + μLT-8I （1/8英寸） 或μLF-300S + μLT-4I （1/4英寸）

测量原理 超声波传播时间差法

被测液体 纯水、水溶液、各种化学溶液

* 请提前检查水以外的液体

自适应流体温度范围 如果您在 15C~80C

* 60C 或更高温度下使用，请提前检查

流体压力 0.5MPa 以下

流体动力学粘度 100mm2/sec 或更小

流量范围 0 ml/min ~ 1000 ml/min （μLF-300S + μLT-8I）

0 ml/min ~ 4000 ml/min （μLF-300S + μLT-4I）

测量精度 ±0.5%RD （1/8英寸 ： 200 ~ 1000ml/min 条件： 常温、恒温水）

±1ml/min （1/8英寸： 0 ~ 199ml/min）

±0.5%RD （1/4英寸： 800 ~ 4000ml/min 条件：常温、恒温水）

±4ml/min （1/4英寸：0~ 799 毫升/分钟）

重复性 ±0.2%（纯品，液体温度±0.5C，平均 30 秒）

权力 直流 24V ±10%

功耗 3.6W 或更低

重量 传感器 240 克，探测器 70 克

尺寸 WxHxD（mm） 传感器 97 x 49 x 127

探测器 90 x 25 x 20（不含管）

探测器

管材 PFA（含氟聚合物）

管径 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米

结构 相当于 IP65

包含电缆 5m，连接器连接

Input 部分

数字输出 4 线 RS-422、4 线 RS-485

模拟输出 4-20mA（瞬时流量），负载电阻 500Ω 以下

积分脉冲输出 1ch （集电极开路）

警报输出 1ch （集电极开路）

联系人输入 1ch（零流量设置或完全清除）

键入命令 4 输入按钮